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晶圓封裝石墨模具的浸漬處理

作者:jcshimo 發布時間:2021-09-14 14:00:30

產品用途:1石墨晶圓封裝石墨模具抗氧化保護,金剛石燒結石墨晶圓封裝石墨模具抗氧化處理,石英坩堝成型用石墨晶圓封裝石墨模具抗氧化處理,其他石墨晶圓封裝石墨模具的抗氧化保護處理。

技術參數:

成分 :納米陶瓷分散液


性狀 :無色透明低粘度液體

安全 :無毒,無公害,不燃物

PH值:2~3

使用方法

1. 晶圓封裝石墨模具在初次使用前可以浸漬處理,也可以噴霧處理,晶圓封裝石墨模具工作一段時間后可以再次進行噴霧處理。

2. 干燥:可以常溫干燥,也可以用小于100℃的溫度烘20分鐘左右后緩慢升溫至最高400℃烘烤,全程烘1個小時左右。

3. 通過浸漬或噴霧處理時,如果晶圓封裝石墨模具表面縫隙中有粘液,可以以1:1的重量比例用原液兌純凈水調成稀釋液,涮洗晶圓封裝石墨模具,或用棉布擦拭。

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